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你足够了解电容薄膜真空计吗?
点击次数:118 发布时间:2019-09-18
   你足够了解电容薄膜真空计吗?
  电容薄膜真空计采用倒T型结构固定极板和防热变形结构,防止测量过程中温度变化导致的规管部件热变形;采用面积相同的双电极结构,消除测量过程中外界杂散电容和温度变化引起的测量信号偏差。具有测量准确度高、线性好、测量结果与气体成分种类无关等特点,可以覆盖低轨道大气压力的测量范围。整体尺寸为Φ42×24mm,重量小于200g,真空测量下限为10-2Pa,测量不确定度预计小于5%,能适应较宽的工作温度范围,可以满足深空探测需求。
  电容薄膜真空计计具有灵敏度高、气体的介电常数不变、压力读数完全不受气体成分影响、反应速度快等特点。如将其规管参考室内加置消气剂并抽至10-5Pa,就可测量10-3Pa及以上的绝对压力。被测压力变化使电容C01和C02都发生变化,且方向相反,提高了电桥失衡程度,因此提高了测量灵敏度;另外,由于弹性膜片两侧的固定电桥对称设置,因而抵消了环境温度等因素引起的电容C01和C02的变化效应,从而减小了电容薄膜真空计测量误差,提高了测量精度。
  电容薄膜真空计是粗真空和低真空测量中一种比较理想的真空计,其主要特点为:
  1、测量范围宽,单个规管具有能测量6个数量级以上的动态压力范围,一般为104~10-1Pa,特殊结构的可达6×105~10-4Pa。
  2、测量精度较高:1%~2%。
  3、结构牢固,受外界环境温度和振动等条件影响小。
  4、被测气体的种类对测量结果的影响很小,该计为全压计。
  5、反应速度快,一般为30~60ms。
  6、规管体积小,吸气和放气很少,并能近似作点压力的测量。
  7、不需要基准参考压力,即使突然暴露大气电容薄膜真空计也不致于因冲击而损坏。
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