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高精度陶瓷薄膜真空计的校准技巧分享
点击次数:475 发布时间:2019-06-03
   高精度陶瓷薄膜真空计的校准技巧分享
  高精度陶瓷薄膜真空计是一种绝压、全压测量的真空计。是根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的真空计,它由电容式薄膜规管(又称为电容式压力传感器)和测量仪器两部分组成。原理是把加于电容薄膜上的压力变化产生膜片间距离的变化,即产生了电容的变化,再通过鉴频器把电容变化转换成为电流或电压的变化,组成为输出信号,所以,它的测量是直接反映了真空压力的变化值,而且只与压力有关,与气体成分无关,即:高精度陶瓷薄膜真空计是一种直接测量式的、全压型的真空计。
  高精度陶瓷薄膜真空计采用国外新电容薄膜真空测量核心技术、陶瓷电容薄膜计测量机理,特点是高精度,高稳定,测量重复性好,测量范围宽、响应速度快、不受测量介质(如气体成分不同、油污、蒸气、混合物粉尘等)影响,陶瓷薄膜真空计适用于真空度计量校准标准器、高精度真空压力测试仪器设备、化工精馏、制冷机真空压力校准、真空炉、单晶炉、航空航天模拟实验室设备、石油仪器设备、电器绝缘真空干燥设备等等。
  校准高精度陶瓷薄膜真空计时,应注意以下五点:
  (1)传感器调零时,先应用标准信号将控制线路的零点和满度调好,将温度补偿器调到所需要的位置上,测量中不可随意变动。
  (2)传感器调零应在其预热4小时后进行,必要时可(10~24)小时的恒温加热,才能使电容规达到零点,也才能测得更精确。
  (3)传感器调零的位置,应比校准范围下限低2~3个量级。如量程是1000Torr,则校准范围是133. 3Pa~133300Pa。零点在真空系统抽到1. 3Pa 或0.13Pa位置左右时才能调节,其余量程以此类推。
  (4)调零以后,陶瓷薄膜真空计校准过程中环境温度不能有骤然变化的现象发生。
  (5)在校准过程中,避免传感器过大的振动。
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